超纯水处理设备是由预处理设备，反渗透技术、EDI精处理以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，同时将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的制水系统。水质可达到电阻率高达15ＭΩ-18ＭΩ•ｃｍ以上的超纯水。
 各部分详解：
预处理：预处理采用机械过滤器（功能：除杂质和泥沙）、活性炭过滤器（功能：除有机物和异味）、软水器（功能：去除水中的硬度）、5μm保安滤器（功能：去除大于5μm以上的微粒）。
 反渗透系统：采用美国陶氏的BW型膜元件，能耗低，脱盐率高、产水量大。